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WGL光電輪廓儀

型???號WGL????????????????????

專利號：ZL200610148202.6

價?? 格：￥98000.00

應用范圍： 光電輪廓儀的應用范圍很廣，它主要用于測量各種精密加工零件表面的微觀三維結構，如表面粗糙度；零件表面的刻線；刻槽的深度和鍍層的厚度等。具體地說，如量塊、光學零件表面的粗糙度；標尺、度盤的刻線深度；光柵的槽形結構；鍍層厚度和鍍層邊界處的結構形貌；磁（光）盤、磁頭表面結構測量；硅片表面粗糙度及其上圖形結構測量等等。由于儀器測量精度高，重復性好，具有非接觸和三維測量等特點，并采用計算機控制和快速分析、計算測量結果，本儀器適用于各級測試、計量研究單位，工礦企業計量室，精密加工車間和高等院校及科學研究單位等。

產品詳情介紹

★? 儀器由倒置式改為正置式，更符合人們的操作習慣；

★? 應用CMOS代替CCD，省去圖象卡并提高了質量；

★? 用低壓電源代替高壓電源，節省了儀器成本；

★? 用國產的代替德國進口壓電陶瓷，解決了關鍵部件的進口難題；

★? 增加了自動步距和亮度校正程序，同時增加了局部放大三維立體圖功能；

主要技術參數

◆?? 表面微觀不平深度測量范圍：130?1nm

◆?? 在連續表面上，相鄰二象素之間沒有大于1/4波長的高度突變時;100-1nm

◆?? 相鄰二象素之間含有大于1/4波長的高度突變時；130-1nm

◆?? 測量的重復性：sRa≤0.5nm?????

◆物鏡倍率：40X?????

◆數值孔徑：065

◆?? 工作距離;05nm?????????

◆儀器現場 目視：ф025 mm 攝象：0.13X0.13mm

◆?? 儀器放大倍數 目視：500X? 攝象（計算機屏幕觀察）：2500X

◆?? 接收器測量列陣：1000X1000????

◆象素尺寸：：5.2X5.2μm

◆?? 測量時間采樣（掃描）時間：1S

◆?? 儀器標準鏡 反射率（高）：～50%? 反射率（低）：～4%?

◆儀器凈重：28㎏

◆?? 照明光源：白熾燈6V 5W?

◆綠色干涉濾光片波長：λ=530nm? 半寬度λ=10nm

◆?? 主顯微鏡升程：110nm???????????

◆工作臺升程：5nm

◆?? X、Y方向移動范圍：～10mm??????

◆工作臺旋轉運動范圍：360°

◆?? 工作臺傾斜范圍：±6°???

◆計算機系統：P4，2.8G以上，內存1G以上17才純平顯示器

◆?? 外形尺寸：主機300mm×300mm×500mm? 電源180mm×280mm×200mm