??二次離子質譜

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原理

用聚焦離子束濺射試樣表面，收集和分析排出的二次離子；

數據采集

這些二次離子的質量/電荷比及質譜可確定元素，同位素，或分子組成；

?激光二次中性質譜（Laser-SNMS）

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原理

用聚焦離子束濺射試樣表面，使用激光共振電離大多數濺射中性原子；

數據采集

與二次離子質譜相同

?聚焦離子束精細加工

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可以通過連續Ga聚焦離子束連續濺射樣品表面除去想要除去的部分；

?二次離子質譜及掃描電子顯微鏡觀測

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可實現二次離子質譜及掃描電子顯微鏡兩種觀測方式；

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主要特點：

1.?高空間分辨率

□?橫向分辨率?< 40nm

□?質譜分辨率?m/Δm >7000@m/z=56

2.?可原位加工和分析，避免暴露于空氣中

□ SEM小損傷觀測，可定位值FIB相同位置；

□?可分析顆粒表面及橫截面；

3.?可實現激光二次中性質譜

□?與傳統SIMS相比可顯著改善信號靈敏度；

□?高靈敏度的有機化合物分析；

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