RUIDU 科研型納米壓印光刻系統
產品名稱： RUIDU 科研型納米壓印光刻系統
英文名稱： RUIDU R&D Nanoimprint Lithography System
產品編號： RD-NIL100
產品價格： 咨詢電話：021-51816409
產品產地： 上海
品牌商標： RUIDU
更新時間： 2024-10-09T09:34:22
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系統說明
RUIDU 科研型納米壓印光刻系統 RD-NIL100
RUIDU 科研型納米壓印光刻系統 RD-NIL100 RD-NIL100，是一款桌面型納米壓印光刻系統。主要應用于微米或納米結構的壓印成型。
系統特點
•● 桌面型，4 / 6 / 8英寸可選
●• 熱壓印 ＜230℃，誤差 ±2℃
•● 真空環境作業，＜1mbar
●• 可壓印分辨率＜50nm圖案
技術參數
可實現圖案轉移分辨率 分辨率<50nm，可同時實現UV紫外固化和熱壓印兩種模式
壓印精度控制及均勻性 在紫外固化模式下，可實現5:1深寬比，優異的壓印高度均勻性
熱壓印 230℃；100°C/min升溫速度；可以根據壓印材料，通過軟件實現不同溫度控制
UV光源 配置i-line 365nm光源，光源能量值可達400mW/cm2
壓力控制 真空腔≤100Pa；氣壓腔0.0-0.3bar，采用進口干泵機
壓印平臺 平整度TTV<5μm，確保長期的高精度、高穩定性
檢測模塊 配置氣壓及溫度檢測模塊,與軟件配套，可實現特定環境的控制
通訊接口 USB2.0標準計算機與儀器通訊接口
壓印室尺寸 直徑~105mm，高度~12mm（4寸）
應用軟件 支持自定義 ：可根據客戶壓印材料不同，控制不同氣溫，UV紫外照射時間及量
操作控制：提供簡單易操作的控制流程，同時支持管理員模式更改個別需求參數
實時監控：監控壓印腔體內的溫度、壓力數據，實時反映在監控軟件上
典型應用
•● DOE（人臉識別衍射元器件）
●• Diffuesr（擴散元器件）
•● AR波導片
●• 微透鏡陣列
•● 微流控芯片
●• 微針
▲ 175nm寬度光柵
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