拉曼分光法和紅外分光法都是測定震動光譜法，但是和紅外分光法相比容易抽樣，具有可以測量到紅外分光法無法測量的微小部位等特長的同時，需要操作者具有決定最適合的測量條件和能一定程度上調整光學系等的技能。NRS-5000/7000系列具有顯微激光拉曼光譜儀所要求的功能，可以自動控制系統和光學系，可以獲得穩定的高精度的數據。搭載波數和拉曼強度的自動補正和測定建議輔助功能，具有高速映射功能。

NRS-5000系列的分光器，采用可對應多種應用軟件的焦點距離為300mm的高性能分光器，最多可以搭載3枚光柵。搭載低波數測定組件的NRS-5200可以測量10cm^?1的低波數領域的測量。

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NRS-7000系列的分光器具有500mm的焦點距離、可實現高分辨率的測量。最多可以搭載4枚光柵。NRS-7200搭載低波數測量組件可實現低雜散光測量，可測量到5cm^?1低波數領域

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▼高性能的分光器
采用像差補正型Czerny-Tuner分光系統、可提高檢測器的成像功能，測到高質量的光譜。波數移動再現性采取高精度直接驅動旋轉編碼器可實現0.1cm^?1以下的高再現性。另外利用光柵自動切換功能可同時搭載多個光柵。

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▼高強度、高剛性系統的高穩定性
光學系配有不受環境溫度變化和抗震動的結實構造的機箱。整個系統設置在鋁蜂窩材料臺上具有絕好的再現性。

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▼DSF（DualSpatial Filtration）優異共焦點性
由于共焦點光學系空間分解光圈的重疊，可以高精度的除去雜散光，從而可以只檢測焦點位置的拉曼散射光。由于這個裝置深度方向的分辨率為1μm（在Si?電路板上）。另外，為了提高空間分辨率，在對熒光物質進行異物分析時，可以除去基礎熒光的影響只導入樣品的拉曼散射光。

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L-胱氨酸的低波數光譜

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▼低波數測定
低雜散光分光器和高性能拒波濾光片組合標準可以測量50cm^?1～。特別是測定及低波數的情況

，NRS-5200/7200搭載低波數測量組件是最合適的選擇。低波數測量主要適用于無機物或結晶多形體。

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▼光學調整的自動化
自動校準是指用光傳感器來監控激光，使用激光校準鏡自動調整到最合適的位置。自動拉曼光路調整功能是指調整光軸將集光后的拉曼散射光的焦點在入射狹縫上。

▼SRI（Spatial Resolution Image） /SGI（Slit Guide Image）

SRI是指在顯微畫像上可實現激光和空間分解光圈畫像的重疊表示。 SGI是指從分光器的入射狹縫側照射標記用的LD激光，狹縫的畫像投影到顯微鏡臺上。

抑制了熒光的顏料拉曼光譜

▼搭載多個激光，可實現最適合樣品的測量
從UV到近紅外激光主機內部2臺、外部最多可以搭載6臺、用軟件切換。?NRS-5000/7000系列的標準激光為532nm的綠色激光。但是，在這個波長激發的話，有出現熒光不能準確測量的樣品。這種情況使用785nm等的長波長激光可以抑制熒光的產生。

　　 ?木材（木質素）的拉曼光譜

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▼雙重檢測器切換構造和InGaAs檢測器的對應

NRS-5000/7000系列作為選項可以搭載2臺檢測器。CCD檢測器和InGaAs檢測器、可以切換使用。對于即使在785nm也出現熒光難測量的活體樣品，農產品等可在1064nm測到良好的拉曼波峰。

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▼觀察功能

NRS-5000/7000系列可以追加顯微鏡或微分干涉顯微鏡的功能。微分干涉觀察在觀察透明樣品等時，樣品的對比度被著重，容易觀察。偏光觀察是指對于通常的可見光比較難觀察的單晶體，礦物質，高分子膠卷中的異物等，通過偏光觀察，可以比較容易。

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觀察型光纖探頭

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▼宏觀測量和光纖探頭測量
通過選項可以進行宏觀測量和光纖探針測量。宏觀測量是指通過用直徑50～100μm的激光光束照射樣品，可以得到樣品試料の平均的信息。光纖探針測量適合于in situ測定或反映監測

半導體材料的高分辨率成像2
（100倍物鏡、40nm間隔）

半導體材料的高分辨率成像2
（100倍物鏡、40nm間隔）

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日本分光的SPRIntS成像系統、具有以下功能，通過掃描鏡激光高速掃描樣品進行高速成像測定的VertiScan、高速讀取CCD檢測器數據的高速讀取功能、VertiScan和Z自動臺組合3D成像、AF 自動聚焦和多功能聚焦功能。

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VertiScan?激光對樣品垂直照射不破壞共焦點性，獲得無歪斜高品質的圖像數據。因為激光在最小25nm間隔移動（使用100倍物鏡時）對微小結構的解析發揮威力。從「半導體材料（硅膠）的高分辨率成像2」的數據可以確認到大約250nm的空間分辨率。

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▼3D成像
3D成像最大限度發揮共焦點的優點,把樣品的深度方向的信息跟平面信息結合,提供樣品的3D化學影像。

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液晶面板結構影像（左）， 作成顯示各層特征譜帶４D成像

全焦點畫像

▼自動聚焦和多焦點
成像系統附帶自動聚焦和多焦點功能。Z自動臺讀取并處理顯微鏡焦點位置變化的各個畫像，可以獲得在所有面焦點位置的全焦點畫像。另外，可以構筑3次元形狀觀察圖像。

NRS-5000/7000系列軟件的開發和紅外顯微鏡IRT-5000/7000采用共通的理念，搭載意用的高度的解析功能。

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▼測定程序
測量程序由根據功能不同分成不同的窗口來完成。對于測量數據可以即時進行波數補正，感度補正、熒光補正、宇宙線除去。可以多點測量，線測量、3D測量，根據多重畫像合成大范圍的顯微畫像，設定測定點和測定區域。

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測量光柵（左）和熒光補正前（右上）熒光補正后（右下）

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解析程序（成像系統）

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▼規格

▼NRS-5000/7000