251MX 型相差校正平場光譜儀采用球面基底的光柵和光柵波前非球面用于相差校正。此類高分辨率光譜儀工作在軟X 射線波段。是極紫外波段理想的光譜儀。251MX 型非常容易獲得良好光柵特性，也可到高質量的光柵。251MX型可用CCD相機直接探測高能量光譜、MCP 微通道板像增強器可以作為此套系統的光學閘門。

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Model 251MX 光譜儀

焦平面寬度~25mm

入射角87 degrees (<3 degrees grazing)

探測位置連續可調,旋轉

光柵接口2 position, 真空中可調

0階擋板標準, 真空中可調

入射狹縫連續可調從10μm 到 3mm,真空中可調

波長范圍由光柵決定

光柵選擇（最多可同時安裝兩塊光柵）

偏轉角G/mm 分辨率

(nm)

焦平面寬度

(mm)

光譜范圍

(nm)

光譜范圍

(eV)

167 1200 ~ 0.028 25 5 to 20 248 to 62

172 2400 ~ 0.01 20 1 to 5 1240 to 248

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? 相差校正光柵

? CCD直接探測

? 光譜數據快速收集

? 平面探測器（MCP、CCD）連接簡便

? 真空度可達10e-6 torr

? 超高真空選項

? 任何角度可操作

? 多種探測器可選

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McPherson 公司主要生產極紫外和軟X 射線波段的光譜儀。平場XUV 光譜儀工作在這些波段范圍。此類光譜儀主要用于開發研究高次諧波激光器（HHG）、用于極紫外印刷的激光激發等離子體源，和托卡馬克的短壽命等離子體診斷等實驗。光譜儀使用靈活性大，比如天體物理儀器標定就選用羅蘭圓掠入射光譜儀Model 248/310G。對應不同特定的波段，可選光柵種類多，并可相應獲得更高分辨率的光譜。