真空紫外分光光度計
產品名稱： 真空紫外分光光度計
英文名稱：
產品編號： V1000
產品價格： 0
產品產地： 日本分光（株）/JASCO
品牌商標： JASCO日本分光
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大規模集成電路（Large Scale Integrated circuit）LSI的高集成化使制造過程的微型化進一步發展，伴隨這個趨勢光刻使用光源的波長向短波長推移，現在ArF激光(193nm)是主流。為了對應微細化線寬0.07μm，研究了F2激光(157nm)實用化。因此，有必要對光刻機上使用的鏡頭以及反光鏡等光學部件在真空紫外領域的光學特性進行正確的評價。?V-1000用于115nm～300nm波長范圍的光學特性評價。在真空紫外領域，因為氧氣的原因有很強的吸收，以前都是將光路做成真空測量，但是V-1000采用吹掃性能好的機箱，可以進行氮氣吹掃后測量，樣品設置到測量開始可在短時間內完成。另外，因為要雙單色器所以除去雜射光，監控雙光束方式提高測光再現性。因此，在157nm實現0.03%的測光再現性。
? ◆規格 ▼V-1000
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