真空紫外分光光度計(jì)
產(chǎn)品名稱： 真空紫外分光光度計(jì)
英文名稱：
產(chǎn)品編號： V1000
產(chǎn)品價格： 0
產(chǎn)品產(chǎn)地： 日本分光（株）/JASCO
品牌商標(biāo)： JASCO日本分光
更新時間： null
使用范圍： null
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大規(guī)模集成電路（Large Scale Integrated circuit）LSI的高集成化使制造過程的微型化進(jìn)一步發(fā)展，伴隨這個趨勢光刻使用光源的波長向短波長推移，現(xiàn)在ArF激光(193nm)是主流。為了對應(yīng)微細(xì)化線寬0.07μm，研究了F2激光(157nm)實(shí)用化。因此，有必要對光刻機(jī)上使用的鏡頭以及反光鏡等光學(xué)部件在真空紫外領(lǐng)域的光學(xué)特性進(jìn)行正確的評價。?V-1000用于115nm～300nm波長范圍的光學(xué)特性評價。在真空紫外領(lǐng)域，因?yàn)檠鯕獾脑蛴泻軓?qiáng)的吸收，以前都是將光路做成真空測量，但是V-1000采用吹掃性能好的機(jī)箱，可以進(jìn)行氮?dú)獯祾吆鬁y量，樣品設(shè)置到測量開始可在短時間內(nèi)完成。另外，因?yàn)橐p單色器所以除去雜射光，監(jiān)控雙光束方式提高測光再現(xiàn)性。因此，在157nm實(shí)現(xiàn)0.03%的測光再現(xiàn)性。
? ◆規(guī)格 ▼V-1000
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