型號

M-210

M-220

M-230

M-240

M-550

ELC-300

測量方法

PEM雙重鎖定方式、光伺服/光參照控制方式

分光器

-

雙單色器
自動波長驅動裝置

雙單色器

（260～900nm）
單單色器

（900～1700nm）
自動波長
驅動裝置

單單色器
自動波長
驅動裝置

雙單色器
自動波長
驅動裝置

測量波長

He-Ne激光
? ?(632.8nm)

He-Ne激光(632.8nm)
? ?Xe光源
? ?(260～860nm)

He-Ne激光
? ?(632.8nm)
? ?Xe光源

(240～700nm)

He-Ne激光
? ?(632.8nm)
? ?Xe光源

(26～900nm)
鹵素燈

(900～1700nm)

Xe光源
? ?(350～800nm)

He-Ne激光
? ?(632.8nm)
? ?Xe光源
? ?(260～860nm)

入射角范圍

40゜～?90゜
連續自動設定
（0.01゜間隔）

45゜～?90゜
連續自動設定
（0.01゜間隔）

40゜～?90゜
連續自動設定
（0.01゜間隔）

膜厚測量范圍

0～99999?

測量時間

1msec以上

20μsec～16sec

測量準確度^*

屈折率　±0.01

膜厚　±1?

消衰係數　±0.01

*準確度是指測量時間100msec以上。另外、根據表面狀態、膜質不同準確度也不同。

樣品室

樣品垂直放

樣品水平放

樣品垂直放

檢測器

檢光子（Glan-Taylor棱鏡）
紫外可見區域：光電子倍増管　近紅外區域：InGaAs-PIN光電二極管（M-240）

主機標準

1.時間變化測量

2.膜厚測量
? ?3.Δ-Ψ模擬
? ?4.光譜測量?解析^*1
? ?5.誘電率計算^*1
? ?6.反射率計算^*1
*1 M-210型號不是分光型不可使用

選項程序

1.?映射測量（自動X-θ帶映射臺）
? ?2.多層膜解析^*2
? ?3.多入射角測量
? ?4.靈敏度模擬^*2
? ?5.波長Cauchy光譜^*3
? ?6.橢圓率測量?解析、測量波長固定復屈折（帶異方性解析臺）^*3
? ?7.測量3次元屈折率（需要異方性解析臺）^*3
? ?8.測量光弾性定數（帶光弾性測量用透過臺）^*3

*2 M-210不是分光型的不能使用
? ?*3 M-550不能測量透過不能使用。