擴展型等離子清洗器PDC—002型型號規格：PDC—002 整機規格：9×18×11（長×寬×高）英寸 （228×457×279）mm 反應艙規格：Φ6×L6英寸耐熱玻璃 （Φ152×L152）mm 反應艙有效容積：2.8L 輸入電源：220 V／50Hz 整機輸入功率：200 W 射頻功率檔：低檔716V DC、10mA DC、7.16W 中檔720V DC、15mA DC、10.15W 高檔740V DC、40mA DC、29.6W 常用工作氣體：空氣、氧氣、氬氣、氮氣或混合氣體等特征：緊湊的臺式設備，沒有RF幅射，符合CE安全標準。反應艙蓋具備鉸鏈、磁力鎖及可視窗口。選配件：石英等離子清洗艙 提供各自計量兩種不同氣體進氣和監測壓力的氣體計量混合器Plasma FloTM 需要：兼容的真空泵，最小速率為1.4 m3/hr，最大極限為200 MTorr 包括：1/8英寸NPT針閥束引入氣體和控制壓力 等離子流混合器Plasma FloTMPDC—FMG—2型 Harrick Plasma FloTM等離子流混合器是一臺可任選的用于在等離子清洗過程中，氣體流混合和壓力監視的儀器。主要應用于樣品的表面改性。Plasma FloTM為用戶提供了在樣品腔中加入兩種氣體使之混合的可能。它帶有一個準確的真空表和兩個氣體流量計，Plasma FloTM與等離子清洗器的結合，為用戶創造了一種全新、動態的研究平臺。型號規格：PDC—FMG－2 整機規格：8×8×10.5（長×寬×高）英寸 （203×203×267）mm 整機重量：13磅 （5.9kg）常用工作氣體：空氣、氧氣、氬氣、氮氣或混合氣體等用作分別計量兩種過程氣體流量的雙標準過程氣體流量計（1.0SCFH和2.0SCFH）。