Spin-X小型智能微控制可編程勻膠機、實用型多功能臺式可編程涂覆儀、新一代實驗用輕便型微控制旋涂儀

Spin-X小型智能微控制可編程勻膠機也可叫做旋轉涂布機、涂層儀、旋涂儀、涂膜儀、涂覆儀、甩膠機等等。英文常寫作Programmable Spin Coater

Spin-X 小型智能微控制可編程勻膠機是一款體積緊湊，臺式勻膠機，可進行精密薄膜沉積。

Spin-X小型智能微控制可編程勻膠機適用于半導體、化工材料、硅片、晶圓片、光學玻璃、化學玻璃等表面涂覆材質

Spin-X小型智能微控制可編程勻膠機應用范圍:

Spin-X小型智能微控制可編程勻膠機適用于半導體、化工材料、硅片、晶圓片、光學玻璃、化學玻璃等表面涂覆材質

Spin-X小型智能微控制可編程勻膠機工作原理

Spin-X小型智能微控制可編程勻膠機采用高速旋轉基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。

????? Spin-X小型智能微控制可編程勻膠機可用做：

????? 基礎及應用粗飼料研究

????? 材料表面、薄膜及鑄造件的非破壞性資料控制

????? 半導體薄膜、金屬及玻璃

????? 有機薄膜制備，光學鍍膜及磁膜

????? 液固界面鍍膜

Spin-X小型智能微控制可編程勻膠機特點：

????? 原裝進口、簡單快速、高轉速、高精度、緊湊、省時、高性能、旋轉穩定、精確控制、涂層（厚度）均勻

?????

Spin-X小型智能微控制可編程勻膠機優勢:

????? 用戶友好人機界面

????? 操作簡單快速

????? 系統設備緊湊，節省寶貴的實驗室空間

????? 快速達到理想轉速

????? 真空托盤的千分表指示

????? 直徑8" 特氟龍涂層工作腔體

????? 透明蓋，防止光刻膠溢出及基片飛出。

????? 氮氣保護設施

????? 配套無油真空泵（選配）

Spin-X小型智能微控制可編程勻膠機技術規格：

1?? 微控制器控制 ??????? 有

2?? 勻膠旋涂轉速范圍 100 R.P.M to 10,000 R.P.M

3?? 勻膠旋涂轉速精度 ＜1%

4?? 勻膠旋涂加速度?? ????? ?5000 R.P.M/sec. (最大)

5?? 勻膠旋涂加速時間 1-9,999 sec/step

6?? 預設可編程程序? 2 (10 steps/program)

7?? 非易失性存儲器保存選項??? 有

8?? 轉速 & 時間實時顯示? LCD 控制面板顯示

9?? 校準選項 ??????? 有

10? 系統當前狀態顯示 LCD 控制面板顯示

11? 輸入及控制選項?? ??????? 鍵盤

12? 集成式真空釋放開關?? 有

13? 集成式電源開關? ?有

14? 廢液排放設施 ??????? 有

15? 氮氣保護設施 ??????? 有

16? 涂覆腔體 ??????? 直徑8" 特氟龍涂層腔體

17? 基片托盤 ??????? 迭爾林（Delrin）材質圓形基片托盤： ?”, 1”, 1?”,

2” ；選配 3” & 4”(直徑托盤)

18? 設備尺寸 ??????? 38cm(W) X 28cm(L) X 28cm(H)

19? 設備電源 ??????? 230 / 220V AC (50 Hz ~)

20? 設備功率 ??????? 150W