一、產品介紹

工業 X 射線輻照儀（TIDeX）是一款專為半導體晶圓檢測與元器件抗輻射可靠性驗證設計的一體化 X 射線輻照及總電離劑量（TID）測試平臺。

系統將 X 射線輻照、高精度快門控制、精密探針測試、實時劑量監測四大核心功能高度集成，可在芯片、晶圓及各類電子元器件集成到最終產品前，精準控制輻射暴露條件、精確計量輻照劑量，高效完成器件抗輻射性能評估與驗證，確保關鍵電子元件在太空、核設施、汽車電子、醫療器械、國防軍工等高嚴苛環境下長期穩定、安全可靠運行。

設備兼具高精度、高穩定性與高安全性，廣泛適用于半導體研發、航天航空、汽車電子、醫療設備、核能應用及高?？蒲械阮I域，是行業內進行總電離劑量效應測試與可靠性驗證的專業解決方案。

二、產品優勢

1. 一體化集成設計，無需多設備聯用，避免設備銜接帶來的誤差，操作便捷且測試流程更高效，適配各類科研與生產場景。

2. 劑量控制精準，可穩定輸出測試數據，滿足航空航天、汽車電子等領域高可靠認證需求，保障測試結果合規可用。

3. 兼容300mm晶圓直接測試，無需切割樣品，適配研發到量產全流程，降低樣品損耗與額外成本。

4. 無放射性同位素，規避放射源監管風險，安全合規，運維便捷且成本更可控。

三、產品參數

• 最大可適配晶圓尺寸：300mm（12 英寸）

• X 射線能量可調節范圍：10 – 160 kV

• 顯微觀測系統：10× 可調物鏡（可選 5×）

• 劑量率：＞ 200 krad/min (60 kV時)

• 準直器：支持定制尺寸與形狀

• 安全標準：符合美國 FDA 21CFR1020.40 輻射安全法規

• 控制系統：智能化操作，靈活設置，可預設運行程序，支持遠程控制與 API 接口

• 定位方式：真空吸附卡盤，X/Y/Z 軸高精度微調

四、應用方向

1. 航空航天與太空領域：衛星、航天器電子器件 TID 測試、抗輻射可靠性驗證

2. 半導體與集成電路：芯片、FPGA、存儲器、功率器件輻照效應評估與篩選

3. 汽車電子：ADAS 自動駕駛、車規芯片、高可靠車載電子輻射耐受測試

4. 醫療器械：放療設備、醫學影像系統控制電路安全可靠性驗證

5. 國防與核能：極端輻射環境下電子系統、控制模塊耐受性測試

6. 高校及科研院所：新型半導體材料、寬禁帶器件輻射效應機理研究

7. CRO 與第三方檢測：元器件可靠性認證、總電離劑量標準化測試